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白光2113干涉仪主偠是用来测光滑表面粗糙度的5261
小编以W1系列白光干涉仪为4102例讲解其1653主要参数以及背后的含义。
W1海克斯康白光干涉仪仪有以下倍率可选
物镜倍率越大扫描视场越小,标配视场为0.98×0.98㎜最大扫描视场为6×6mm。
2.5×,5×物镜适合比较光滑平坦的表面,10×及以上物镜适合粗糙有一定倾角嘚表面
W1海克斯康白光干涉仪仪Z向扫描范围为10mm,扫描范围指出现干 涉条纹时镜头下表面 到样品表面的距离.
从透射率 非常高的透明玻璃 (光学透镜等)到 表面反射率极低的 黑色哑光(漫反射) 表面(或类似 A4 纸)均能正常重建 3D 图像测量。
首先要理解精度 是个很宽泛的概念用标准囼 阶来衡量,仪器的精度就是 0.3%内;而用可测的绝对数值 来衡量样品表面粗糙度为 0.1nm 时亦可测出,和原子力显 微镜能力相当比同为光学仪 器的激光共聚焦检测能力高至 少一个量级,也远高于一般的 接触式轮廓粗糙度仪
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