微纳金属3D打印技术应用:AFM探针?

微纳金属3D打印是在原子力显微镜平台上通过微流控制技术和电化学的方法实现微纳金属3D结构成型。可以在70微米的成型空间相当于人的头发丝截面内完成打印,且具备一定的机械性能。可实现2微米细节,可打印材料包括金,银,铜,铂等。

在直径0.06mm的头发上进行金属3D打印相信很多人听了都觉得不可思议无法完成,什么机器可以完成在头发丝上进行打印?现在跟大家介绍一下这款亚微米分辨率的金属 3D打印机, 由Exaddon AG开发的CERES系统可在环境条件下直接3D打印金属。该系统通过增材制造来构建亚微米分辨率的复杂结构,从而在微电子,MEMS和表面功能化等领域开辟了新视野。

CERES系统的示意图。该系统由直观的操作员软件控制,位于防震台上。控制器硬件位于桌子下方。

逐个体素和逐层执行打印过程,该过程允许90° 悬垂结构和独立式结构。金属打印工艺是基于体素的。体素定义为基本3D 块。体素以定义的坐标逐层堆叠,形成所需的2D或3D

几何形状。没有支撑结构的独立式结构和90°悬垂角度是可行的,带来了真正的设计自由度。通过离子尖偏转的实时反馈使打印过程自动化。当体素到达完成时,体素的顶侧与尖端相互作 用,使悬臂偏转微小量。该过程非常类似于以接 触模式运行的AFM悬臂。如果达到用户定义的偏转阈值,则将体素视为已打印。然后将尖端快速 缩回至安全的行进高度,然后移至下一个体素。

悬臂的体素坐标,打印压力和挠曲阈值在csv文件中指定。该文件已加载到打印机的操作员软件中。csv文件由Exaddon提供的设计助手(即所谓的Voxel Cloud Generator)生成。或者,可以通过任何能够导出纯文本文件的第三方软件来生成文件。

建立, 用于打印结构的电化学装置。稳压器施加电压以控制还原反应。体素由离子溶液构成,通过微流体压力控制器将离子溶液从离子尖端中推出,该微流体压力控制器以小于1mbar的精度调节施加的压力。在恒电位仪施加的适当电压下,还原反应将金属离子转化为固体金属。客户定义的离子溶液以及Exaddon提供的离子墨水可用于保证打印质量。离子溶液的一个例子是硫酸铜(CuSO4)在硫酸 (H2SO4)中的溶液。在工作电极上发生以下反 应:Cu2 +(aq)+ 2e-→Cu(s)。

像大多数电镀技术一样,电解池也需要导电液槽才能工作。在这种情况下,打印室将在pH = 3的水中充满硫酸,以使电流流动。对于在其上发生沉积的工作电极需要导电表面。稳压器控制用户定义的电位,并通过石墨对电极在电化学电池中提供电流。Ag / AgCl参比电极用

于测量工作电极电势。将所有电极浸入支持电解质中。两个高分辨率摄像头(顶视图和底视图)可实现离子头装载,打印机设置和打印结构的可视化。内置了计算机辅助对齐功能,可以在现有结构上进行打印。用于在例如芯片表面上预定义的电极上打印。该软件在打印期间和之后向用户提供每个体素遇到的成功,失败或困难的反馈。CERES系统还执行其他过程,例如2D纳米光刻和纳米颗粒沉积。该系统开放且灵活,因此用户也可以设计定制的沉积工艺。CERES系统是用于学术和工业研究的有前途的工具。它在微米级金属结构的增材制造中提供了空前的成熟度和控制能力。

目前微纳金属3D打印更多应用在微纳米加工、微纳结构研究、太赫兹芯片、微电路修复、微散热结构、微米高频天线、微观雕塑等领域,让这些领域中很多不可能变成了可能。更多关于3D打印的介绍请搜索关注云尚智造,欢迎您来咨询交流。

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【摘要】:为了能够提高拉曼散射光的探测灵敏度,需要我们使用拉曼散射衬底来提高拉曼散射峰的强度。而如何制备得到高增强因子的拉曼散射衬底,科学工作者做出了很多的努力,他们设计出了多种衬底结构,例如利用粗糙的纳米颗粒衬底,二聚物衬底以及团簇材料衬底。在对大部分衬底增强情况的分析中,电磁增强机制在表面增强拉曼散射信号增强中起到主导作用。而在电磁增强中所谓的热点又是来自于表面等离子体共振。虽然一维亚波长金属光栅结构只是一个简单的微纳结构,但是它却拥有着丰富的物理意义。除了局域表面等离子体共振,表面等离子体激元也能够在一维亚波长金属光栅中传播。表面等离子体激元和局域的等离子体激元能够在一维亚波长金属光栅中耦合。在本论文当中,我们研究了在一维亚波长银纳米光栅中的表面等离子体激元与局域表面等离子体激元的耦合作用。我们通过有限时域差分模拟方法模拟了该耦合作用在金属表面所产生的电场的大小。利用该种耦合结构对电场增强作用,制备得到了一种一维亚波长金属光栅结构表面增强拉曼衬底,显著提高了金属表面的拉曼信号强度。通过理论结合实验研究发现了针对于532nm的入射激光所匹配的最优化一维亚波长银纳米光栅的占空比为0.4。所计算出来的耦合作用下的增强因子能够达到106数量级。在实验中,我们通过聚焦离子束刻蚀的方法来制作一维亚波长银纳米光栅结构。然后,在结构表面形成一层4-ABT探针分子与金属的薄膜。在共聚焦拉曼测试系统中对表面增强拉曼信号进行表征测量。通过对实验数据的分析计算可以得到实验测得的增强拉曼增强因子为104数量级。本论文取得的主要进展有:1、基于表面等离子体激元的耦合效应及其电场增强作用,提出设计并制备得到了一维亚波长银纳米光栅耦合结构。实验中所制备得到的一维亚波长银纳米光栅结构由于“热点”效应,使得电场局域在棱角等尖锐的地方,从而使得这些地方的电场得到了极大的增强,从而得到更高的增强因子。2、在文章中,我们对电场理论模拟结果和实验增强测量结果的不同进行了讨论,得到的结论是因为在溅射镀膜以及聚焦离子束加工刻蚀的时候产生的误差所导致的。我们通过使用场发射扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)对样品进行了表征,研究了不同光栅占空比对耦合结构电场增强作用的不同,研究了光栅高度值的分布差异所导致的电场强度分布。3、实验研究表面,实验中所测得的表面增强拉曼增强因子与理论计算吻合较好。结果表明,耦合效应可以产生更大表面增强拉曼因子。通过优化金属材料的性能以及微纳加工制造技术,即使使用一个非常简单的一维金属光栅,也可以很显著的提高表面增强拉曼峰信号。


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