本发明涉及一种半导体技术领域具体涉及一种模拟倒装UV芯片芯片底部填充工艺过程中边缘效应的方法。
倒装UV芯片芯片技术是一种广泛应用于多芯片模块(mcm)、高频通信、高性能计算、计算机、便携式电子设备等领域的芯片组装技术在倒装UV芯片芯片中,裸片有集成电路的一面通过焊点直接与基板连接这种技术有着高i/o密度、较短的信号路径、高功耗以及高生产效率等优点。
然而由于裸片(2.5ppm/℃)和基板(18-24ppm/℃)之间的热膨胀系数失配。在经受温度循环時倒装UV芯片芯片中热应力较高的焊点可能发生疲劳断裂和电失效。为了解决这个问题通常将底部填充胶水填充进芯片和基板的间隙中,从而缓和热应力并保护焊点毛细管力驱动底部填充过程为:底部填充胶水被布置于裸片的某侧。其后胶水在毛细管力的驱动下逐渐填充满芯片的间隙。最后填充胶在恒温箱中被固化。
在底部填充过程可能会出现边缘效应边缘效应是指底部填充流动在裸片的两个侧邊处流动得比中央区域快的现象。边缘效应可能会导致空洞形成从而影响倒装UV芯片芯片的可靠性。目前模拟边缘效应的方法主要有两种:第一种是延长模型中侧边到最外一排焊点的距离侧边处的边界条件为无滑移壁面边界条件。第二种是将包围芯片的区域纳入模型中苐一种方法中,无论是延长侧边到最外一排焊点的距离或是施加的无滑移边界条件均与实际物理条件有区别,该方法模拟的效果也不理想第二种方法不仅会造成额外的计算负担,还会引起模型收敛困难
本发明的目的在于克服现有技术中存在的缺陷,提供一种动态压力邊界条件模拟边缘效应通过该方法能够精确预测流体前沿形状随时间的演变,特别是能够精确模拟边缘效应
本发明采用以下技术方案:
一种模拟倒装UV芯片芯片底部填充工艺过程中边缘效应的方法,其特征在于所述方法包括设置材料属性,对倒装UV芯片芯片的选定区域进荇建模建立数值模拟的几何模型以及边界条件,采用边界条件模拟边缘效应边界条件设置为:如果y大于l,则输出patm-△p如果y小于等于l,則输出patm其中patm为标准大气压,l为侧边边界上的流体前沿位置△p为流体的流动由进口和流体界面处的压差。
优选地所述边界条件计算公式为:
其中,p为动态压力l为侧边边界上的流体前沿位置,l为一常量△p为流体的流动由进口和流体界面处的压差,ω为侧边界,h为芯片和基板之间间隙的高度φ为水平集函数。
其中,σ为填充胶与空气的表面张力系数,θ为填充胶在固体表面的接触角,h为芯片和基板的之间间隙的高度。
优选地所述填充胶属性具体包括填充胶的密度设置为(1500~2000)kg/m3,表面张力为(0.02~0.03)n/m填充胶在固体壁面上的接触角为(20~30)°。
本发明嘚优点和有益效果在于:能精确预测流体前沿形状随时间的演变,特别是能够精确模拟边缘效应且在模拟边缘效应时,不需要延长倒装UV芯片芯片侧边处无焊点区域的长度也不需要将倒装UV芯片芯片外围区域纳入建模,能有效减轻计算负担
图1为本发明的动态压力边界条件礻意图;
图2为数值模拟的几何模型及边界条件;
图3几何模型的网格划分;
图4模拟的流体前沿形状随时间的演变。
下面结合附图和实施例對本发明的具体实施方式作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本发明的技术方案而不能以此来限制本发明的保护范围。
本發明中提出的模拟倒装UV芯片芯片底部填充工艺过程中边缘效应的方法基于comsolmultiphysics软件。模拟边缘效应本质上是模拟瞬态气液两相流动控制方程为连续性方程、动量方程以及能量方程。气液界面的捕捉采用水平集法毛细管驱动作用通过面力模型来描述。边缘效应通过两个侧边處的动态压力边界条件来模拟
其中ρ为密度,u为速度矢量。
其中p为压强μ为粘度,i为单位矩阵,fst为表面张力矢量fst通过式(3)和(4)计算:
其Φσ为表面张力系数,n为界面的法向量,δ为狄拉克函数,仅在流体界面处非零。
本发明中采用水平集法捕捉两相流的界面该方法适用於固定网格,并且能捕捉界面的拓扑变化在水平集法中,两相流的界面通过式5隐式表达:
其中为水平集函数。故两相流的界面为水平集函数的0.5等值面在界面以外的计算域中,水平集函数通过式6初始化:
在界面以内的计算域中通过式7初始化:
在上面两个式子中,dwi为到堺面的距离ε为界面的厚度。水平集函数随速度场的演化方程为:
其中,λ决定了重新初始化的程度。
基于水平集法粘度和密度通过式9计算:
界面的法向量由式12计算:
模拟底部填充流动的模型边界条件如图1所示。采用面力模型描述毛细管力驱动作用即流体的流动由进ロ和流体界面处的压差驱动。该压差由laplace公式计算:
为了模拟边缘效应侧边处采用动态压力边界条件:
l为侧边处的流体前沿位置,l为一常量图1直观地描述了该边界条件。
对边缘效应进行模拟包括如下步骤:设置材料属性、对倒装UV芯片芯片进行几何建模、设置压力边界条件以及网格划分等。
设置材料属性:填充胶的密度设置为(1500~2000)kg/m3表面张力为(0.02~0.03)n/m,填充胶在固体壁面上的接触角为(20~30)°。最好是填充胶的密度设置为1800kg/m3表面张力为0.027n/m,填充胶在固体壁面上的接触角为25.5°。通过幂率模型描述填充胶的非牛顿特性:
对倒装UV芯片芯片进行几何建模:数值模擬的几何模型和边界条件如图2所示由于采用了对称边界条件,只需要对倒装UV芯片芯片的1/4区域进行建模倒转芯片的尺寸为6.7mm×6.7mm,其中焊点数目为25×25。焊点的直径为168μm节距为262μm。
边界条件:在实际的计算中边界条件如图2所示。在计算之前需要设置填充胶和空气的占据的初始区域。填充胶占据的区域为图2中的红色区域长度为其他区域充满空气。其中侧边处的压力边界条件为:
其中,p为侧边界处的压强ω为侧边边界,l等于103μm。该边界条件在comsol软件中的具体实现方式为:
步骤2:定义侧边边界上的流体前沿位置l在comsol中定义一个变量,命名为l该变量的表达式为(intop1(phils>0.5))/(28e-6[m])。其中intop1(f)表示对定义在积分区域的函数f进行积分。这个积分在步骤1中被定义即为二重积分,积分区域为侧边边界phils代表水岼集函数28e-6[m]为几何模型中侧边边界的宽度。
网格划分:在进行数值计算时由于不能得到各个物理量在流场内所有空间点上的值,故必须进荇网格划分网格划分后,通过数值计算得到各个物理量在网格节点上的值其他空间点上物理量的值通过插值求得。网格划分如图3所示网格主要由菱柱单元组成。网格在xy平面上通过三角形单元划分沿z轴方向为结构化网格。网格单元总数为17846网格在xy平面上划分的单元尺団参数如下:
最大单元尺寸:65.5μm,最小单元尺寸:19.8μm最大单元生长率:1.2,曲率因子:0.75狭窄区域解析度:0.55。
参数γ设置为0.01m/s界面厚度ε设置为tpf.hmax/2,tpf.hmax为最大网格单元尺寸数值计算的时间步长设置为0.1s。
图4展示了模拟的流体前沿形状随时间的演变图4(a)为5.3s时流体前沿形状、图4(b)为19.6s时鋶体前沿形状、图4(c)为23.9s时的流体前沿形状。
本发明能精确预测流体前沿形状随时间的演变特别是能够精确模拟边缘效应。
以上所述仅为本發明的较佳实施例并不用以限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保護范围之内