逆变器4个场效应管自激逆变器和4个IGBT管都烧坏了,查输入输出都未短路,什么原因

对MOSFET与IGBT详细的区别分析以及举例说奣

决定了其应用领域的不同

  1. 由于MOSFET的结构,通常它可以做到电流很大,可以到上KA,但是前提耐压能力没有IGBT强

  2. IGBT可以做很大功率,电流和电压都鈳以就是一点频率不是太高,目前IGBT硬开关速度可以到100KHZ那已经是不错了。不过相对于MOSFET的工作频率还是九牛一毛MOSFET可以工作到几百KHZ,上MHZ鉯至几十MHZ,射频领域的产品

  3. 就其应用,根据其特点:MOSFET应用于开关电源镇流器,高频感应加热,高频逆变焊机,通信电源等等高频电源领域IGBT集中应用于焊机、逆变器,变频器、电镀电解电源、超音频感应加热等领域 。

开关电源 (Switch Mode Power Supply;SMPS) 的性能在很大程度上依赖于功率半导体器件的选擇即开关管和整流器。

虽然没有万全的方案来解决选择IGBT还是MOSFET的问题但针对特定SMPS应用中的IGBT 和 MOSFET进行性能比较,确定关键参数的范围还是能起到一定的参考作用

本文将对一些参数进行探讨,如硬开关和软开关ZVS (零电压转换) 拓扑中的开关损耗并对电路和器件特性相关的三个主偠功率开关损耗—导通损耗、传导损耗和关断损耗进行描述。此外还通过举例说明二极管的恢复特性是决定MOSFET 或 IGBT导通开关损耗的主要因素,讨论二极管恢复性能对于硬开关拓扑的影响

除了IGBT的电压下降时间较长外,IGBT和功率MOSFET的导通特性十分类似由基本的IGBT等效电路(见图1)可看出,完全调节PNP BJT集电极基极区的少数载流子所需的时间导致了导通电压拖尾(voltage tail)出现
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这种延迟引起了類饱和 (Quasi-saturation) 效应,使集电极/发射极电压不能立即下降到其VCE(sat)值这种效应也导致了在ZVS情况下,在负载电流从组合封装的反向并联二极管转换到 IGBT的集电极的瞬间VCE电压会上升。

IGBT产品规格书中列出的Eon能耗是每一转换周期Icollector与VCE乘积的时间积分单位为焦耳,包含了与类饱和相关的其他损耗其又分为两个Eon能量参数,Eon1和Eon2Eon1是没有包括与硬开关二极管恢复损耗相关能耗的功率损耗;Eon2则包括了与二极管恢复相关的硬开关导通能耗,可通过恢复与IGBT组合封装的二极管相同的二极管来测量典型的Eon2测试电路如图2所示。IGBT通过两个脉冲进行开关转换来测量Eon第一个脉冲将增夶电感电流以达致所需的测试电流,然后第二个脉冲会测量测试电流在二极管上恢复的Eon损耗
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在硬开关導通的情况下,栅极驱动电压和阻抗以及整流二极管的恢复特性决定了Eon开关损耗对于像传统CCM升压PFC电路来说,升压二极管恢复特性在Eon (导通) 能耗的控制中极为重要除了选择具有最小Trr和QRR的升压二极管之外,确保该二极管拥有软恢复特性也非常重要软化度 (Softness),即tb/ta比率对开关器件产生的电气噪声和电压尖脉冲 (voltage spike)

某些高速二极管在时间tb内,从IRM(REC)开始的电流下降速率(di/dt)很高故会在电路寄生电感中产生高电压尖脉冲。这些電压尖脉冲会引起电磁干扰(EMI)并可能在二极管上导致过高的反向电压。

在硬开关电路中如全桥和半桥拓扑中,与IGBT组合封装的是快恢复管戓MOSFET体二极管当对应的开关管导通时二极管有电流经过,因而二极管的恢复特性决定了Eon损耗所以,选择具有快速体二极管恢复特性的MOSFET十汾重要不幸的是,MOSFET的寄生二极管或体二极管的恢复特性比业界目前使用的分立二极管要缓慢因此,对于硬开关MOSFET应用而言体二极管常瑺是决定SMPS工作频率的限制因素。

一般来说IGBT组合封装二极管的选择要与其应用匹配,具有较低正向传导损耗的较慢型超快二极管与较慢的低VCE(sat)电机驱动IGBT组合封装在一起相反地,软恢复超快二极管可与高频SMPS2开关模式IGBT组合封装在一起。

除了选择正确的二极管外设计人员还能夠通过调节栅极驱动导通源阻抗来控制Eon损耗。降低驱动源阻抗将提高IGBT或MOSFET的导通di/dt及减小Eon损耗Eon损耗和EMI需要折中,因为较高的di/dt 会导致电压尖脉沖、辐射和传导EMI增加为选择正确的栅极驱动阻抗以满足导通di/dt 的需求,可能需要进行电路内部测试与验证然后根据MOSFET转换曲线可以确定大概的值 对MOSFET 与 IGBT详细的区别分析以及举例说明

假定在导通时,FET电流上升到10A根据图3中25℃的那条曲线,为了达到10A的值栅极电压必须从5.2V转换到6.7V,岼均GFS为10A/(6.7V-5.2V)=6.7mΩ。
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公式1 获得所需导通di/dt的栅极驱动阻抗

把平均GFS值运用到公式1中得到栅极驱动电压Vdrive=10V,所需的 di/dt=600A/μsFCP11N60典型值VGS(avg)=6V,Ciss=1200pF;于是可以计算出导通栅极驱动阻抗为37Ω。由于在图3的曲线中瞬态GFS值是一条斜线会在Eon期间出现变化,意味着di/dt也会变化呈指数衰减的栅极驱动电流Vdrive和下降的Ciss作为VGS的函数也进入了该公式,表现具有令人惊讶的线性电流上升的总体效应

同样地,IGBT也可以进行类似的栅極驱动导通阻抗计算VGE(avg) 和 GFS可以通过IGBT的转换特性曲线来确定,并应用VGE(avg)下的CIES值代替Ciss计算所得的IGBT导通栅极驱动阻抗为100Ω,该值比前面的37Ω高,表明IGBT GFS较高,而CIES较低这里的关键之处在于,为了从MOSFET转换到IGBT必须对栅极驱动电路进行调节。

在比较额定值为600V的器件时IGBT的传导损耗一般比楿同芯片大小的600 V MOSFET少。这种比较应该是在集电极和漏极电流密度可明显感测并在指明最差情况下的工作结温下进行的。例如FGP20N6S2 SMPS2 IGBT 和 FCP11N60 SuperFET均具有1℃/W嘚RθJC值。图4显示了在125℃的结温下传导损耗与直流电流的关系图中曲线表明在直流电流大于2.92A后,MOSFET的传导损耗更大


不过,图4中的直流传导損耗比较不适用于大部分应用同时,图5中显示了传导损耗在CCM (连续电流模式)、升压PFC电路125℃的结温以及85V的交流输入电压Vac和400 Vdc直流输出电压的笁作模式下的比较曲线。图中MOSFET-IGBT的曲线相交点为2.65A RMS。对PFC电路而言当交流输入电流大于2.65A RMS时,MOSFET具有较大的传导损耗2.65A PFC交流输入电流等于MOSFET中由公式2计算所得的2.29A RMS。MOSFET传导损耗、I2R利用公式2定义的电流和MOSFET 125℃的RDS(on)可以计算得出。把RDS(on)随漏极电流变化的因素考虑在内该传导损耗还可以进一步精確化,这种关系如图6所示
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一篇名为“如何将功率MOSFET的RDS(on)对漏极电流瞬态值的依赖性包含到高频三相PWM逆变器嘚传导损耗计算中”的IEEE文章描述了如何确定漏极电流对传导损耗的影响。作为ID之函数RDS(on)变化对大多数SMPS拓扑的影响很小。例如在PFC电路中,當FCP11N60 MOSFET的峰值电流ID为11A——两倍于5.5A (规格书中RDS(on) 的测试条件) 时RDS(on)的有效值和传导损耗会增加5%。

在MOSFET传导极小占空比的高脉冲电流拓扑结构中应该考慮图6所示的特性。如果FCP11N60 MOSFET工作在一个电路中其漏极电流为占空比7.5%的20A脉冲 (即5.5A RMS),则有效的RDS(on)将比5.5A(规格书中的测试电流)时的0.32欧姆大25%

在实际应鼡中,计算IGBT在类似PFC电路中的传导损耗将更加复杂因为每个开关周期都在不同的IC上进行。IGBT的VCE(sat)不能由一个阻抗表示比较简单直接的方法是將其表示为阻抗RFCE串联一个固定VFCE电压,VCE(ICE)=ICE×RFCE+VFCE于是,传导损耗便可以计算为平均集电极电流与VFCE的乘积加上RMS集电极电流的平方,再乘以阻抗RFCE

圖5中的示例仅考虑了CCM PFC电路的传导损耗,即假定设计目标在维持最差情况下的传导损耗小于15W以FCP11N60 MOSFET为例,该电路被限制在5.8A而FGP20N6S2 IGBT可以在9.8A的交流输叺电流下工作。它可以传导超过MOSFET 70% 的功率

虽然IGBT的传导损耗较小,但大多数600V IGBT都是PT (Punch Through穿透) 型器件。PT器件具有NTC (负温度系数)特性不能并联分流。戓许这些器件可以通过匹配器件VCE(sat)、VGE(TH) (栅射阈值电压) 及机械封装以有限的成效进行并联,以使得IGBT芯片们的温度可以保持一致的变化相反地,MOSFET具有PTC (正温度系数)可以提供良好的电流分流。

3、关断损耗 —问题尚未结束

在硬开关、钳位感性电路中MOSFET的关断损耗比IGBT低得多,原因在于IGBT 嘚拖尾电流这与清除图1中PNP BJT的少数载流子有关。图7显示了集电极电流ICE和结温Tj的函数Eoff其曲线在大多数IGBT数据表中都有提供。 这些曲线基于钳位感性电路且测试电压相同并包含拖尾电流能量损耗。

图2显示了用于测量IGBT Eoff的典型测试电路 它的测试电压,即图2中的VDD因不同制造商及個别器件的BVCES而异。在比较器件时应考虑这测试条件中的VDD因为在较低的VDD钳位电压下进行测试和工作将导致Eoff能耗降低。

降低栅极驱动关断阻忼对减小IGBT Eoff损耗影响极微如图1所示,当等效的多数载流子MOSFET关断时在IGBT少数载流子BJT中仍存在存储时间延迟td(off)I。不过降低Eoff驱动阻抗将会减少米勒电容 (Miller capacitance) CRES和关断VCE的 dv/dt造成的电流注到栅极驱动回路中的风险,避免使器件重新偏置为传导状态从而导致多个产生Eoff的开关动作。

ZVS和ZCS拓扑在降低MOSFET 囷 IGBT的关断损耗方面很有优势不过ZVS的工作优点在IGBT中没有那么大,因为当集电极电压上升到允许多余存储电荷进行耗散的电势值时会引发拖尾冲击电流Eoff。ZCS拓扑可以提升最大的IGBT Eoff性能正确的栅极驱动顺序可使IGBT栅极信号在第二个集电极电流过零点以前不被清除,从而显著降低IGBT ZCS Eoff

MOSFET嘚 Eoff能耗是其米勒电容Crss、栅极驱动速度、栅极驱动关断源阻抗及源极功率电路路径中寄生电感的函数。该电路寄生电感Lx (如图8所示) 产生一个电勢通过限制电流速度下降而增加关断损耗。在关断时电流下降速度di/dt由Lx和VGS(th)决定。如果Lx=5nHVGS(th)=4V,则最大电流下降速度为VGS(th)/Lx=800A/μs

在选用功率开關器件时,并没有万全的解决方案电路拓扑、工作频率、环境温度和物理尺寸,所有这些约束都会在做出最佳选择时起着作用

在具有朂小Eon损耗的ZVS 和 ZCS应用中,MOSFET由于具有较快的开关速度和较少的关断损耗因此能够在较高频率下工作。

对硬开关应用而言MOSFET寄生二极管的恢复特性可能是个缺点。相反由于IGBT组合封装内的二极管与特定应用匹配,极佳的软恢复二极管可与更高速的SMPS器件相配合

后语:MOSFE和IGBT是没有本質区别的,人们常问的“是MOSFET好还是IGBT好”这个问题本身就是错误的至于我们为何有时用MOSFET,有时又不用MOSFET而采用IGBT不能简单的用好和坏来区分,来判定需要用辩证的方法来考虑这个问题。

KIA半导体MOS管具备挺大的核心竞争力是开关电源生产厂家的最好的选择。KIA半导体 MOS管厂家主要研发、生产、经营:场效应管自激逆变器(MOS管)、COOL MOS(超结场效应管自激逆变器)、三端稳压管、快恢复二极管;广泛应用于逆变器、锂电池保护板、电动车控制器、HID车灯、LED灯、无刷电机、矿机电源、工业电源、适配器、3D打印机等领域;可申请样品及报价和有技术支持有什麼问题有技术员帮忙解决问题!有需要或想了解下的可以加扣扣、

近年来IGBT被广泛关注,随着技术嘚发展其应用前景被广泛看好,作为国家战略性新兴产业IGBT在很多领域应用广泛。

兼有MOSFET的高输入阻抗和GTR的低导通压降两方面的优点GTR饱囷压降低,载流密度大但驱动电流较大;MOSFET驱动功率很小,开关速度快但导通压降大,载流密度小IGBT综合了以上两种器件的优点,驱动功率小而饱和压降低非常适合应用于直流电压为600V及以上的变流系统如交流电机、变频器、开关电源、照明电路、牵引传动等领域。

IGBT是将強电流、高压应用和快速终端设备用垂直功率MOSFET的自然进化由于实现一个较高的击穿电压BVDSS需要一个源漏通道,而这个通道却具有很高的电阻率因而造成功率MOSFET具有RDS(on)数值高的特征,IGBT消除了现有功率MOSFET的这些主要缺点虽然最新一代功率MOSFET 器件大幅度改进了RDS(on)特性,但是在高电平时功率导通损耗仍然要比IGBT 技术高出很多。较低的压降转换成一个低VCE(sat)的能力,以及IGBT的结构同一个标准双极器件相比,可支持更高电流密度并简化IGBT驱动器的原理图。

IGBT模块的特点与应用

IGBT模块是由IGBT(绝缘栅双极型晶体管芯片)与FWD(续流二极管芯片)通过特定的电路桥接封装而成嘚模块化半导体产品;封装后的IGBT模块直接应用于变频器、UPS不间断电源等设备上;IGBT模块具有节能、安装维修方便、散热稳定等特点;当前市場上销售的多为此类模块化产品一般所说的IGBT也指IGBT模块;随着节能环保等理念的推进,此类产品在市场上将越来越多见;

IGBT是能源变换与传輸的核心器件俗称电力电子装置的“CPU”,作为国家战略性新兴产业在轨道交通、智能电网、航空航天、电动汽车与新能源装备等领域應用极广。

IGBT技术的几大发展方向

IGBT应用范围一般都在600V、1KA、1KHz以上区域为满足家电行业的发展需求,摩托罗拉、ST半导体、三菱等公司推出低功率IGBT产品实用于家电行业的微波炉、洗衣机、电磁灶、电子整流器、照相机等产品的应用。

U(沟槽结构)--IGBT是在管芯上刻槽芯片元胞内部形成沟槽式栅极。采用沟道结构后可进一步缩小元胞尺寸,减少沟道电阻进步电流密度,制造相同额定电流而芯片尺寸最少的产品現有多家公司生产各种U—IGBT产品,适用低电压驱动、表面贴装的要求

NPT(非穿通型)--IGBT采用薄硅片技术,以离子注进发射区代替高复杂、高本錢的厚层高阻外延可降低生产本钱25%左右,耐压越高本钱差越大在性能上更具有特色,高速、低损耗、正温度系数无锁定效应,在设計600—1200V的IGBT时NPT—IGBT可靠性最高。西门子公司可提供600V、1200V、1700V系列产品和6500V高压IGBT并推出低饱和压降DLC型NPT—IGBT,依克赛斯、哈里斯、英特西尔、东芝等公司吔相继研制出NPT—IGBT及其模块系列富士电机、摩托罗拉等在研制之中,NPT型正成为IGBT发展方向

鉴于目前厂家对IGBT的开发非常重视,三星、快捷等公司采用SDB(硅片直接键合)技术在IC生产线上制作第四代高速IGBT及模块系列产品,特点为高速低饱和压降,低拖尾电流正温度系数易于並联,在600V和1200V电压范围性能优良分为UF、RUF两大系统。

国际整流器IR公司的研发重点在于减少IGBT的拖尾效应使其能快速关断,研制的超快速IGBT可最夶限度地减少拖尾效应关断时间不超过2000ns,采用特殊高能照射分层技术关断时间可在100ns以下,拖尾更短重点产品专为电机控制而设计,現有6种型号另可用在大功率电源变换器中。

IR公司在IGBT基础上推出两款结合FRD(快速恢复二极管)的新型器件IGBT/FRD有效结合,将转换状态的损耗減少20%采用TO—247外型封装,额定规格为1200V、25、50、75、100A用于电机驱动和功率转换,以IGBT及FRD为基础的新技术便于器件并联在多芯片模块中实现更均勻的温度,进步整体可靠性

IGBT功率模块采用IC驱动,各种驱动保护电路高性能IGBT芯片,新型封装技术从复合功率模块PIM发展到智能功率模块IPM、电力电子积木PEBB、电力模块IPEM。PIM向高压大电流发展其产品水平为1200——3300V,IPM除用于变频调速外600A/2000V的IPM已用于电力机车VVVF逆变器。平面低电感封装技術是大电流IGBT模块为有源器件的PEBB用于舰艇上的导弹发射装置。IPEM采用共烧瓷片多芯片模块技术组装PEBB大大降低电路接线电感,进步系统效率现已开发成功第二代IPEM,其中所有的无源元件以埋层方式掩埋在衬底中智能化、模块化成为IGBT发展热门。

综述:国内市场需求急剧上升曾使得IGBT市场一度被看好虽然长期来看,IGBT是一个值得期待的市场可是到目前为止IGBT的核心技术和产业为大多数欧美IDM半导体厂商所掌控,中国茬2014年6月成功研制出8寸IGBT专业芯片打破国际垄断   。

据最新调查报告显示各种IGBT器件和模块的销售额在2013年将有一定程度的复苏,2014年稍稍减速待经济复苏并稳定后,从2015年开始将稳定增长虽然2013年IGBT市场增长趋势有所下降,但随着国内技术的进步其发展前景还是十分被看好的。

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IGBT及其派生器件例如:IGCT,是MOS和双極集成的混合型半导体功率器件因此,IGBT的失效模式既有其子器件MOS和双极的特有失效模式,还有混合型特有的失效模式MOS是静电极敏感器件,因此IGBT也是静电极敏感型器件,其子器件还应包括静电放电(SED)防护器件据报道,失效的半导体器件中由静电放电及相关原因引起的失效,占很大的比例例如:汽车行业由于失效而要求退货的器件中,其中由静电放电引起的失效就占约30%

本文通过案例和实验,概述IGBT及其子器件的四种失效模式:

(1) MOS栅击穿;

(2) IGBT——MOS阈值电压漂移;

(3) IGBT寿命期内有限次连续短路脉冲冲击的累积损伤;

(4) 静电放電保护用高压npn管的硅熔融

IGBT器件的剖面和等效电路见图1。

由图1可见IGBT是由一个MOS和一个npnp四层结构集成的器件。而MOS是金属—氧化物—半导体场效应管自激逆变器的简称其中,氧化物通常是硅衬底上氧化而生成的SIO2有时还迭加其他的氧化物层,例如Si3N4Al2O3。通常设计这层SiO2的厚度ts:

微電子系统:ts《1000A电力电子系统:ts≥1000A

SiO2,介质的击穿电压是1×1019V/m那么,MOS栅极的击穿电压是100V左右

人体产生的静电强度U:

上述数据表明,不附加靜电保护的MOS管和MOS集成电路(IC)只要带静电的人体接触它,MOS的绝缘栅就一定被击穿

案例:上世纪六十年代后期,某研究所研制的MOS管和MOS集荿电路不管是安装在印刷电路板上还是存放在盒中的此种器件,都出现莫名其妙的失效因此,给MOS一个绰号:摸死管

如果这种“摸死”问题不解决,我国第一台具有自主知识产权的MOS集成电路微型计算机就不可能在1969年诞生经过一段时间的困惑,开始怀疑静电放电的作用为了验证,准备了10支栅极无任何防护的MOS管用晶体管特性测试仪重新测试合格后,即时将该器件再往自己身上摩擦一下再测特性结果發现:100%栅击穿!随后,在MOS管的栅极一源极之间反并联一个二极管问题就基本解决。意外的结果:“摸死管”成了一句引以为戒的警语該研究所内接触和应用MOS管MOS-IC的同事,对静电放电对器件的破坏性影响都有了深刻的体验

3、 IGBT——MOS阈值电压漂移——一种可能隐藏的失效模式

MOS管的阈值电压Vth的方程式:

(1)式中VSS=表面态阈值电压,Vhh =本征阈值电压常数(费米势),N=硅衬底杂质浓度

图2是栅电压VG和栅电容CO的C—V曲线,曲线上的箭头表时扫描方向

由图2可见。C—V曲线是一条迟滞回路该回路包络的面积等于表面态电荷,QSS是由Si—SiO2界面缺陷和正电荷离子引起嘚而且,Si—SiO2界面的QSS始终是正的即VSS总是向VITH正向移动。这就决定了沟增强型MOS管和P沟数字集成电路容易实现

为了减小QSS和防止SiO2——Si界面电荷茭换与移动,引起阈值电压漂移采取了许多措施:

(1) 将《111》硅衬底换为《100》硅衬底,减小硅表面的非饱和键;

(2) 制备工艺中使用的石英器皿气体和化学试剂均提升纯度级别,尽量减小Na离子的污染含量;

(3) 研发新的绝缘栅介质系列:

以上措施对低压微功耗的微电孓的应用,已证明MOS与MOSIC是可靠的但是对于电力电子应用的场合:高电压,大电流和工作温度范围较宽特别是,静电放电电压接近栅极击穿电压而又未穿栅极时例如上文所示接近100V时,仍有隐忧:

(1) 较高栅电压下阈值电压漂移较大,图3示出P沟硅栅MOS在高栅电压下的由图3鈳见,栅电压VG=40V时=4V。

(2) PT—IGBT在高温栅偏压下阈值电压漂移图4给出PT—IGBT(IRG4BC20F)在(1)栅已射极Gge=20V,Vce=OV(HTGB)和(2)Vge=0VVce=0.8V(HTRB)在140℃,经过1200小时的应力试验結果由图4中的HTGB曲线可见,栅偏置试验开始后100小时内时线性增加,随后趋于稳定

(3) 电可擦只读存贮器(electrically erasable read-only memory,简称EEROM)的存贮单元是氮化矽(Si3N4)—二氧化硅(SiO2)构成的双层绝缘栅的MOS管它利用栅极注入电荷来改变ROM存贮单元的状态。

(4) MOS是一种单极多数载流子器件,按半导體器件理论它的抗辐射,主要是抗γ射线的能力应该比双极、少数载流子器件强,但是,实际情况刚相反。这说明MOS的绝缘栅结构在辐射場下有较大的损伤和电荷交换

(5) 以上4种情况说明,MOS阈值电压漂移在电力电子的应用条件即高电压(接近栅击穿电压)、大电流和高溫(接近pn结临界温度150℃)时,是一种导致器件和电路失效的潜在参数似乎仍需系统考察和修订老化条件。所以将称作是一种可能隐藏嘚失效模式。

4、 IGBT寿命期限内有限次数短路脉冲冲击的累积损伤失效

在寿命期限内,IGBT会遇到在短路、雪崩等恶劣条件下工作它能承受短蕗脉冲冲击的次数是有限的,并和相关条件有关

NPT—IGBT的鲁棒性见图5,被测器件是SGW15N120在540V 125℃时测试。X轴是耗散的能量Y轴是器件直至损坏的短蕗周期次数。

由图5可见在给定条件下,器件有一个临界能量:

式中TSC是短路持续时间

当E》EC时,第一次短路就使器件失效。

当E=EC时器件夨效模式不明确。当能量等于或稍等于EC时器件关断后,器件的拖尾电流经过一段延迟时间td f ,将导致热击穿这段延缓性失效时间为微秒级。

图6给出不同短路续时间TSCIGBT测量的短路电流波形。

(1) 紧随器件关断后初始拖尾电流电平(lio)直至失效的延迟时间是由能量决定的,或者说由器件关断后的温度决定的能量越大,拖尾电流电平也越高失效的延迟时间则越短。例如图中给出的最大能量是Tsc=60us,这时Tds趨向一个极小值。

管壳温度对临界能量EC的影响最大管壳温度升高,EC就下降测量SGW15N60的结果是:

4.3集电极电压的影响

集电极电压升高,EC就下降:

PT—IGBT的短路失效特性和NPT—IGBT类似但是,临界能理值EC比NPT—IGBT低例如:在125℃,短路电

(1)每次短路周期耗散的能量E小于由被测电路电压Vce、短路歭续时间Tsc和管壳温度决定的临界能量Ec时IGBT可以连续承受104次以上短路冲击才失效。

(2)在可比的条件下当E》EC时,一次短路就失效

(3)NPT—IGBT仳PT—IGBT能承受较大的能量冲击。

5、静电放电保护用高压NPN管的硅熔融

在失效的硅器件表面常常观察到硅熔融,而导致硅熔融的原因却不只一個例如:器件短路和开关时的瞬间大电流,正向工作区域或热工作区出现二次击穿损伤等到因此要对静电敏感的器件和电路的输入/输絀(I/O)端增设静电放电(ESD)保护装置。而ESD保护装置的器件的硅熔融也是使被保护的器件和电路失效的原因之一。在本文引言中曾提到汽車应用的器件其中原因失效要退货的数量中,有30%的失效与ESD有关由于I/O端的规范不同,需要及时对器件和电路进行再设计同时,为了减尐试验成本提高可靠性,需要采用计算机辅助设计技术(TCAD)

图7是晶体管的正向击穿特性,图7中的VT·是器件的损伤点,其定义有以下三种设定:

(1) 器件的漏泄电流大于某一临界值即定为器件失效但它忽略了硅熔融和氧化层的击穿;

(2) 器件出现强烈电压崩溃的二次击穿时定为器件失效,但有时器件达到大电流范围也不出现二次击穿

(3) 当器件的载流子碰撞电离Gi等于肖克莱—里德—霍尔(Shockley—Read—Hall)复合率,同时总电流随电压反向增加时定为器件失效。

为了验证第(3)种假设予测二次击穿管点,用0.35um特征尺寸的功率集成电路工艺设计了ESD防护用的标准高压NPN管并将基极—发射极接地。

图8是NPN管测量的和用(2)假定来模拟的I-V特性由图8可见,测量的损伤电流IT2=1.5A而模拟值是1..8A,有較大误差图9是用(3)假设外推的结果。其模拟值是1.52A相当一致。

图10是1A电流应力下模拟显示该器件有两个热点。一个在收集极触点下損伤电流IT2=1.52A;另一个热点在发射极之下,用外推法算出的损伤电流远大于2A所以,首先出现导致失效的硅熔融点应在收集极图11是该器件失效照片。证明此结果

本案例说明:(1)ESD防护器件的失效也是实际器件和电路失效的一种模式。(2)防护用的NPN管的损伤点可以用TCAD获得

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