用各种技术对量测系统进行分析以确认量测系统的
稳定性，从而确保量测结果数
及可利用性以指导实际的制程作业
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统分析 包括测量系统（测量人测量仪器，测量方
被测件测量环境等）的稳定性，重
再现性，偏移线性。计量性测量系统一般使
用GRR方法评定当然视实际情況定是否需要分析偏移，线性稳定性。计数性测量系统使用另外的分析方法具体你可
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