溅射薄膜可能出现的福睿斯出现质量问题题有哪些

磁控溅射镀膜单质膜镀不上有那些原因!急急急!!!!_百度知道
磁控溅射镀膜单质膜镀不上有那些原因!急急急!!!!
玻璃实验品镀过后,出来还是白玻,请尽可能全面些,谢谢,而且不导电!请问有什么原因导致单质膜就是镀不上
方向是否正确~~磁场不够导致溅射范围广?中频,方向不正确就射到其他方向去了,比如射频不是吧~兄台~我们的设备橡胶都能镀上~首先确定你的靶材磁场是否合适。再次确定电源是否正常,或者说电源的类型?直流,沉积速度慢
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真空腔室内有杂质气体1、玻璃未清洗干净或者带有静电,水分等。或真空度不够。2
靶材是否有问题,换个其他工件先试试
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【求助】导致磁控溅射化合物靶材碎裂的主要原因有哪些?
磁控溅射的化合物靶材经常出现开裂的现象。哪位高人来介绍下主要的原因有哪些?解决的方法又有哪些?谢谢啦。只有降低功率然后一点一点加功率么?
这种情况很常见
显然关键因素是温度和功率
温度越高越容易碎的
功率越高越容易碎的
你的靶材裂了以后要做哪些检测呢?
好的,谢谢你。
请问你们是怎么绑定的,能不能介绍一下或者发张照片看看,谢了!
我也对绑定挺感兴趣,能指点一下吗?
您好,能不能给我一个联系方式呢?研一新生,烧靶失败几次了,请教您一些问题,谢谢:)

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