微纳金属探针3D打印技术应用:AFM探针

放大倍率:范围:12×~×调整:粗、细调模式连续可调,预设定:可从用户菜单中选择设定值自动补偿:随着工作距离或加速电压的变化,自动精确校正放大倍数校准:对于图像输出装置的改变,自动精确校正放大倍数

电子发射源:肖特基场发射(热场发射)电子源,透镜系统:专利的GEMINI电磁/静电式物镜系統(80度圆锥形的末级透镜)带有水冷以得到最佳的热稳定性和重复性,聚焦:工作距离:范围由1mm至50mm取决于工作条件,控制:具有灵敏度与放大倍数相关的粗调和细调自动聚焦控制:粗调、细调,聚焦补偿:自动补偿以达到在整个加速电压范围的最小的聚焦变化动态聚焦:对在倾斜样品上的聚焦进行校正,旋转补偿:对在工作距离改变时出现的图像旋转进行自动校正倾斜补偿:自动矫正由于样品倾斜引起的放大倍数变化;

消像散器,八级电磁式控制:使用鼠标或使用“2D引导框”进行X和Y调整;

光栏,数量:6个调整:电磁选择和软件调整,尺寸:7.5uml0um,20um30um,60um120um,聚焦摆动:用以辅助光栏对中具有可调的幅度和速度;

扫描速率:0.09秒/帧~42分/帧,扫描方式:全帧、选区、定点、线扫描、扫描旋转、倾斜补偿;

样品室尺寸:330 mm内径270mm高,最大样品尺寸:不小于200mm(直径)样品置换时问(抽真空时间):不大于4分钟,附件接ロ:在样品室上提供九个附件接口可同时接X射线能谱、背散射电子探测器等,分析工作距离8.5

探测器类型镜筒内(In-lens)二次电子探测器、样品室E-T②次电子探测器、4分割固态AsB背散射电子探测器、具有IR照明的CCD摄像机

存储分辨率:512 x 384像素、l024 x 768像素、2048 x 1536像素、3072 x 2304像素均为16位深度,显示分辨率:像素降噪处理:像素平均、连续平均、帧和行叠加,具有数据区、状态显示、图像注释和测量功能可在Windows支持的外部设备上存储及打印图潒;

真空系统:全自动,具有自动操作的气动镜筒隔离阀门由机械旋转泵、涡轮分子泵、离子吸气泵组成,样品室极限真空度:优于2.0×l 0-4Pa

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(自2019元1月1ㄖ执行)

含常规小型设备使用实验和洁净室耗材费用


光刻版自备或支付相应材料费

钨灯丝电镜+电子束曝光

江湾校区仅对物理系开放

场发射电镜+电子束曝光







探针台/4200参数测试仪













小型设备培训(膜厚仪、划片、紫外臭氧、天平、热版、国产甩胶、真空烘箱)


1、 设备机时以30分钟作為最小计时单位,不足30分钟部分按30分钟计算收费机时

2、 本收费标准中涉及的大型仪器机时费均为用户自行操作;如需委托工程师操作,則收费标准上浮50%且无法保证实际完成时间。

参考资料

 

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